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Définition - Que signifie la nanolithographie?
La nanolithographie est une branche de la nanotechnologie et le nom du processus d'impression, d'écriture ou de gravure de motifs à un niveau microscopique afin de créer des structures incroyablement petites. Ce processus est généralement utilisé pour créer des appareils électroniques plus petits et plus rapides tels que des micro / nanopuces et des processeurs. La nanolithographie est principalement utilisée dans divers secteurs technologiques de l'électronique au biomédical.Techopedia explique la nanolithographie
La nanolithographie est un terme large utilisé pour décrire divers processus de création de motifs à l'échelle nanométrique sur différents supports, dont le plus courant est le matériau semi-conducteur silicium. Le but prédominant de la nanolithographie est le rétrécissement des appareils électroniques, ce qui permet à plus de pièces électroniques d'être entassées dans des espaces plus petits, c'est-à-dire de plus petits circuits intégrés qui se traduisent par des appareils plus petits, qui sont plus rapides et moins chers à fabriquer car moins de matériaux sont nécessaires. Cela augmente également les performances et les temps de réponse car les électrons ne doivent parcourir que de très courtes distances.
Certaines techniques utilisées en nanolithographie sont les suivantes:
- Lithographie aux rayons X - Implémentée par une approche d'impression de proximité et repose sur les rayons X en champ proche dans la diffraction de Fresnel. Il est connu d'étendre sa résolution optique à 15 nm.
- Double motif - Une méthode utilisée pour augmenter la résolution de hauteur d'un processus lithographique en imprimant des motifs supplémentaires entre des espaces de motifs déjà imprimés dans la même couche.
- Lithographie à écriture directe par faisceau d'électrons (EBDW) - Le processus le plus couramment utilisé en lithographie, qui utilise un faisceau d'électrons pour créer des motifs.
- Lithographie ultraviolette extrême (EUV) - Une forme de lithographie optique qui utilise des longueurs d'onde de lumière ultracourtes de 13, 5 nm.
