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Qu'est-ce qu'un système micro-électromécanique (mems)? - définition de techopedia

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Anonim

Définition - Que signifie le système micro-électromécanique (MEMS)?

Un système micro-électromécanique (MEMS) est un minuscule module mécanique qui est entraîné par l'électricité. NEMS fusionne les ordinateurs avec des modules mécaniques tels que des capteurs, des actionneurs et des miroirs. Ce sont des systèmes rentables qui utilisent une technologie de fabrication de dispositifs modifiée.


Les MEMS ont une variété d'utilisations et viennent dans un large éventail d'approches de conception de fabrication, tirant parti de divers composants, de la miniaturisation et de nouveaux systèmes électromécaniques intégrés standard. Le MEMS peut être utilisé pour la gravure humide comme l'hydroxyde de potassium (KOA), la gravure sèche comme la gravure profonde par ions réactifs (DRIE), le moulage et le placage, les machines d'électro-décharge (EDM) et d'autres technologies qui produisent de petits appareils.


Un système microélectromécanique peut également être appelé système microélectronique, micromachine, technologie des microsystèmes ou matière intelligente.

Techopedia explique le système micro-électromécanique (MEMS)

Les MEMS peuvent être plus petits que la largeur d'un cheveu humain et peuvent inclure plusieurs composants tels que:

  • Microcapteurs
  • Micro-actionneurs
  • Microprocesseurs
  • Unités centrales de traitement des données
  • Composants pour interagir avec les éléments extérieurs

Les MEMS ont un grand rapport surface / volume et sont construits en utilisant la technologie de fabrication du silicium.


Un dispositif MEMS comprend des microcircuits qui sont placés sur une petite puce de silicium utilisée avec des composants mécaniques. La technologie prend en charge une grande variété d'appareils qui contrôlent, détectent ou activent des processus mécaniques tout en fonctionnant en réseau ou individuellement.


Actuellement, les MEMS englobent un seul microsenseur ou microacuateur distinct dans leur architecture, mais des niveaux plus complexes d'assimilation peuvent se produire à l'avenir. Le développement suivant pourrait consister à intégrer de nombreuses fonctionnalités individuelles dans un seul système.

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